精密測量技術新世紀如何迅速發展（3）

不斷開發高性能產品 　　

　　需求形勢的好轉，進一步激發了生產企業開發新產品的積極性。近年來，各公司不斷推出高性能的測量機產品。在高分辨率方面，前述索尼公司的YP20/21最為突出，該機是一種超高精度非接觸式形狀測量機，其Z軸的分辨率高達10nm，重復精度為±30nm。

該公司還生產一種小型激光刻度尺BS77，其分辨率在10nm以下。 　　

　　在形狀精密測量方面，最近市場上出現了配裝高速高密度掃描測頭的三坐標測量機，如東京精密公司開發的CONTURA三坐標測量機就匯集了最新掃描技術，可進行高密度數據采集（200點/秒）。該機安裝了高速掃描測頭VASTXT，最大掃描速度為70mm/秒，測量范圍（X、Y、Z）=700mm×1000mm×600mm。該公司開發的圓度、圓柱形狀測量機RONDCOM65A，據稱可測量目前世界上可達到的最高回轉精度0.01μｍ，測量機上也配有最新的解析程序TIMS，可實現高速高效率精密測量作業，最大測量直徑為φ420mm，左右送進范圍為220mm，上下送進范圍為500mm。 　

　　英國Taylor Hobson公司開發出一種分離式表面形狀及粗糙度測量機，操作、顯示均采用紅外線信號，因此，可對驅動測量部分進行遙控。驅動測量部分采用2μｍ測頭，測量范圍為1mm，分辨率為16nm。另外，該公司還開發出Tarlyrond 265/290系列圓度及圓柱度測量機，該機測量范圍廣，可對小至幾mm的微型零件，大至75kg的大型零件，進行全自動測量。該機配有自動定心及矯正裝置，立柱可上下移動，杠桿可前后移動，可對工件的內圓、外徑、端面進行全自動測量。Tarlyrond測量機采用模塊化設計，可根據不同需要，選擇不同的配置組合。該機的測量范圍為φ350～500mm，測量圓度精度為±（0.04μｍ+0.3μｍ/m）。 　

　　Brown & Sharpe 公司開發的PMM-C700測量機采用不移動橋架的結構，從而可長期保證橋架移動型結構難以達到的高精度和高穩定性。該機的最小分辨率為0.005μｍ，可對凸輪軸、渦輪葉片等復雜形狀的機械零件進行高速高精度測量。 　

　　齒輪形狀曲線復雜，測量起來極為困難。日本大阪精密機械公司開發出一種準雙曲面齒輪測量機，型號為HyB-35，該機不僅可進行三坐標測量機那樣的晶格結點測量，而且可在線性方面對輪齒的棱邊進行測量，從而捕捉到導致出現噪聲和振動的微細形狀誤差，以進一步提高齒輪精度。 　　

　　分辨率達到0.1μｍ的刻度尺 　

　　索尼精密工程公司開發出一種非接觸圖像測量機，型號為YF10。這是一種利用圖像處理技術的精密測量機，機上配置了數字攝像裝置，采用了全軸分辨率為0.1μｍ的刻度尺；此外，該機還采用閉環控制系統，可進行高精度測量。 　

　　三豐公司開發出一種快速成像接觸測量系統，可使過去利用CCD的圖像測量機功能更加完善，操作更為簡便。利用此種新型接觸測頭，也可進行非接觸測量。 　　

　　東京精密公司開發的便攜式三維測量系統Optigo，是一種高效高速測量三維曲面的新型測量裝置，該裝置配有新設計的光學系統和數據處理系統，可對汽車的門窗，阻尼器等大型零件進行高速非接觸測量。

本篇文章來源于 “中國金屬加工在線”