精密測量技術新世紀如何迅速發展（4）

　　在通常情況下，作為生產現場使用的測量機具，必須保證在整個測量過程中具有良好的操作性能，而且必須力求節省所占用的空間。如三豐公司開發出一種柔性測量裝置QM-Measure，這是專門為在加工現場測量復雜形狀而研制的袖珍型三坐標測量機，特點是操作簡便，價格低廉。

西鐵城公司開發出一種電動測微儀用的小型上置式DTM-C系列，實現了生產設備機械小型化和高精度化，進深達7cm，而體積卻減小了2/3，非常便于安裝在其他生產設備上使用，該裝置的最小分辨率為0.1μｍ。 　　

　　RENISHAW公司專門為加工中心和車床開發了一種非接觸式工具檢測系統NC1，這是一種高速非接觸式測量系統，能快速進行工具長度、直徑的測量，該系統的特點是可在激光束的任意位置上對工具進行測量，測量范圍0.2～0.8mm，分辨率為1μｍ。NC1系統采用了新型激光技術，既可保證測頭的精度特性，又便于安裝，且無需作特別的維護。該系統在正常情況下，其使用壽命可達100萬次測量。 　　

　　在超精密及半導體零件的檢測等方面，要求測距僅約1nｍ。以往nm級精度的測量大都依靠激光干涉儀，激光干涉儀是利用光的波長作為測量基準，光線隨著通過的媒體折射率的不同而變化，因此，進行高精度測量時，還必須進行精密的補償。HEIDENHAIN公司開發出一種高精度高分辨率測長系統LIP382/372，可取代以往的激光干涉儀。該系統的測量基準是固定的，因此，不易受氣壓、溫度等空氣變化的影響。LIP的刻度尺是在Zerodur玻璃陶瓷上采用TITANID格柵，可以刻出非常細小的刻度；刻度尺的縱向距離可保持0.5μｍ精度，其重復精度極高，只需進行簡單的補償，在小于1mm距離內的測量精度可達數nm，而且其信號非常穩定。 　　

　　綜觀當前精密測量技術的發展狀況，有如下一些特點：普遍追求高速、高精度、系統化、網絡化；為了便于在線測量，各公司正在大力開發小型化的精密測量裝置；為了增強市場競爭能力，生產廠家均在努力加強質量管理，降低生產成本。隨著全球IT產業的蓬勃發展，精密測量領域也不斷開發出適應IT特點的測量機產品�？梢灶A計，面對新世紀的需求，精密測量技術將進一步集約化，產品結構更為緊湊，操作性能進一步提高，自動化水平也必將提升到新的檔次。當然，各廠家高性能產品之間的競爭也必然更加激烈，誰搶先擁有高精尖的測量技術，擁有先進的管理系統，誰就將在競爭中穩操勝券。

本篇文章來源于 “中國金屬加工在線”