產品簡介
350UPM機床為高效超精密微磨削/微銑削機床，該機床配置了轉速60000、液體冷卻的垂直空氣軸承主軸。350UPM適用于非球面鏡頭陣列和微結構溝槽元件的金剛石微銑削，可以取得傳統機床無法達到的光學表面精度和低誤差�？杉庸ち慵某叽鐬椋簩�350mm X 長350mm X 高150mm。
機床特性
1、PC 兼容CNC運動控制器以及Windows操作系統，編程分辨率0.01納米 (0.0004u”)；
2、絕熱型線性刻度反饋系統，分辨率34皮米 (0.034nm)；
3、碳纖維加固型整體式復合大理石基座，熱穩定性、剛性以及減震性能十分出色；
4、箱式油靜壓軸承滑軌，提供光滑、高剛性和很好的減震能力的線性運動性能；
5、高速循環周期的線性電機控制器，利于提高表面質量，并使維護最小化；
6、空氣軸承磨削主軸轉速200-60000rpm（配有液體致冷）；
7、X軸行程：350mm，Y軸行程：350mm，Z軸行程（垂直）：150mm；
8、極具策略性的嵌入式熱耦實時原位熱能監控設計。
技術參數
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主機 |
描述 |
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系統配置 |
3軸或4軸超精密CNC 微銑削系統 |
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最大加工范圍 |
350mm寬x350mm長x150mm高 |
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基本架構 |
整體復合環氧樹脂花崗巖底座嵌入碳纖維加固 |
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隔震裝置 |
優化空氣隔震系統�？蛇x配自動調平阻尼式空氣隔震系統 |
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控制系統 |
基于PC的DeltaTau CNC運動控制器， Intel i5 2.5 GHz 處理器，Windows 運行系統， 配備19寸彩色觸摸屏，2G 內存，10/100/1000以太網接口，DVD+/-RW SATA光驅以及500GB 硬盤，全系統安裝于NEMA 12機柜。 |
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編程分辨率 |
線性分辨率0.01 nm / 角度分辨率0.0000001° |
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主軸 |
標準指標 |
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類型 |
空氣軸承 |
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主軸轉速范圍 |
5,000- 60,000 RPM |
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軸向剛度 |
65 N/μm (371,000 lbs./in.) |
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徑向剛度（鼻端） |
20 N/μm (114,000 lbs./in. ) |
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驅動系統 |
無刷直流電機 |
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運動精度 |
軸向: ≤ 25 nm 徑向: ≤ 25 nm |
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線性軸 |
X |
Y |
Z（垂直） | |
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類型 |
全約束式油靜壓，閉式導軌 |
全約束式油靜壓，閉式導軌 |
全約束式油靜壓，閉式導軌，并配置空氣軸承適應控制器，用于平衡重力和不同的負載 | |
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行程 |
350mm |
350mm |
150mm | |
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驅動系統 |
無刷直流直線電機 |
無刷直流直線電機 |
雙無刷直流直線電機 | |
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反饋類型 |
激光全息線性光柵尺 |
激光全息線性光柵尺 |
激光全息線性光柵尺 | |
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反饋分辨率 |
0.034nm |
0.034nm |
0.034nm | |
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進給速率（最大） |
2000mm/min |
2000mm/min |
2000mm/min | |
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直線度 |
0.2μM水平全行程 0.75μm垂直全行程 |
0.2μM水平全行程 0.75μm垂直全行程 |
0.2μM水平全行程 0.75μm垂直全行程 | |
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靜壓油裝置 |
緊湊，低流量，低壓力系統，配備封閉式循環伺服控制以及使油泵脈動最小化的壓力積蓄裝置 | |||
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溫度管理系統 |
描述 |
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閉環冷卻系統 |
提供導軌靜壓油及主軸冷卻液的溫度控制 |
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陶瓷主軸固定臂 |
具有較高結構剛度和低熱膨脹系數的輕量化設計 |
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熱敏電阻溫度監測系統 |
嵌入熱敏電阻持續監控實時溫度，1/1000華氏度分辨率 |
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Nano temp軟件 |
獨家溫度制圖軟件，跟蹤機器內溫度變化情況 |
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機床外殼 |
外殼充分利用雙滑動門改進了溫度穩定性（可選空氣淋�。� |
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選配旋轉軸 |
旋轉C軸 |
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類型 |
油靜壓 |
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行程 |
360°（雙向） |
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驅動系統 |
無刷直流電機 |
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軸向剛度 |
875 N/μm (5,000,000 lbs./in.) |
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徑向剛度（鼻端） |
260 N/μm (1,500,000 lbs./in.) |
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定位精度 |
±1.0弧秒 |
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反饋分辨率 |
0.02弧秒 |
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最大速度（定位模式） |
50 rpm |
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運動精度 |
軸向: ≤ 0.1μm 徑向: ≤0.1μm |
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環境要求 |
Air空氣 |
Electrical供電要求 |
占地要求（包括電氣柜） |
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為優化車削結果，熱穩定性應被控制在±0.5°C (±1.0°F)以內 |
7.5to 10 bar (110–150 psi) 280liters/min (10 scfm) 過濾10μm 以上微粒 干燥至10°C 壓力露點 |
208- 480 VAC; 3相位；50 / 60hz; 3 Phase (11kVA) |
1.9m寬 x 1.8m 長 x 2.1m 高 重量約3,360 Kg (包括機床外殼和電柜，但不包括控制臺等外圍設備) |
