產品簡介
機床適用于同軸非球面和螺旋表面車削加工，慢刀伺服（旋轉式）進行自由曲面加工，柵式飛刀技術進行自由曲面、線性衍射面以及光學棱形結構加工，配備有優化空氣隔震系統。
性能特點
1、適用于同軸非球面和螺旋表面車削加工，慢刀伺服（旋轉式）進行自由曲面加工，柵式飛刀技術進行自由曲面、線性衍射面以及光學棱形結構加工；
2、專利耐撞擊多孔石墨涂層空氣主軸 - 全轉速范圍內主軸跳動小于 12.5納米，C軸反饋分辨率為 0.01弧秒；
3、業界領先的8.4皮米光柵尺反饋分辨率；
4、標準加工口徑650mm，可定制更大加工口徑；
5、Delta Tau 控制軟件 - 程序預讀能力40,000句；
6、通過網絡可進行實時設備監控以及遠程操作控制；
7、NanoSMART™ - 業界首款觸摸屏操作界面，應用了大量新功能，其中包括能運行文件大小高達5GB的程序；
8、可選配件：旋轉工作臺B軸，主軸內置任意定位控制C軸，微磨削以及微銑磨附件，快刀伺服系統，光學對刀儀，噴霧式冷卻系統，真空卡盤，微調式刀座，NanoCAM 2D非球面光學元件編程軟件，機床在線測量和誤差補償系統（WECS），以及溫控系統。
技術參數
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主機 |
描述 |
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系統配置 |
超精密3,4 或5 軸CNC 機床，用于同軸非球面和螺旋表面車削加工，慢刀伺服(旋轉式)進行自由曲面加工，柵式飛刀技術進行自由曲面、線性衍射面以及光學棱形結構的加工 |
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最大加工范圍 |
直徑650mm x 長300mm（可定制更大的加工口徑） |
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床身結構 |
整體式復合聚合物花崗巖，內置冷卻槽，具有極好的熱穩定性 |
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隔震裝置 |
優化空氣隔震系統�？蛇x配自動調平阻尼式空氣隔震系統 |
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計算機配置 |
Intel i5 2.4 GHz 處理器，64 位Windows 7 專業版，16G 內存，10/100/1000 以太網接口，CD-RW / DVD 光驅以及500GB 硬盤，22”多點觸摸屏，USB 接口 |
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控制系統 |
Delta Tau 系統，嵌入式1GHz， 64 位運動控制器， Nanotech 新觸控操作界面，基于Windows 7 環境 |
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編程分辨率 |
線性分辨率0.01 nm / 角度分辨率0.0000001° |
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性能展示（使用激光干涉儀或者白光干涉儀測量同一個元件) |
材料 – 高純度鋁合金 （所有精度的測量同一個元件的同一表面） 面型精度(P-V): ≤ 0.1μm / 75mm 口徑,，250mm 曲率半徑凸球面. 表面粗糙度(Ra): ≤ 3.0 nm(測試元件在X-Z 和Y-Z 面車削) |
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主軸 |
標準指標 |
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類型 |
專利耐撞擊多孔石墨涂層空氣軸承 |
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主軸恒溫冷卻 |
通過閉環控制冷水機，提供溫度控制循環冷卻水，透過環繞在空氣軸承主軸的馬達和軸頸管道進行冷卻，以達到維持主軸和刀具中心熱穩定的重復性。冷水機帶有控制精度為±0.5°F 的內置PID 控制器。 |
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安裝 |
嵌入式安裝于Y 軸托架，以增強外圈剛性并降低熱增長。主軸軸心安裝于絕熱外殼內以增強熱穩定性 |
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轉速范圍 |
50 至10,000 rpm（雙向） |
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加工口徑 |
650mm |
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承載能力（徑向） |
85 Kg @ 7bar (185 lbs @ 100psi.) / 102 Kg @ 10bar (225 lbs @ 145psi.) @ 鼻端 |
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承載能力（軸向） |
180 Kg @ 7bar (397 lbs @ 100psi.) @ 鼻端 |
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徑向剛性（鼻端） |
130 N/um @ 7bar (743,000 lbs/in @ 100psi) |
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軸向剛性 |
438 N/um @ 7bar (2,500,000 lbs/in @ 100psi) |
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驅動系統 |
無刷直流電機 |
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運動精度 |
軸向: ≤ 12.5 nm 徑向: ≤ 12.5 nm |
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線性軸 |
X |
Z |
Y（垂直）-- 選配 |
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類型 |
全約束式油靜壓，閉式導軌 |
全約束式油靜壓，閉式導軌 |
全約束式油靜壓，閉式導軌，并配置空氣軸承適應控制器，用于平衡重力和不同的負載 |
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行程 |
350mm |
300mm |
150mm |
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驅動系統 |
無刷直流直線電機 |
無刷直流直線電機 |
無刷直流直線電機 |
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反饋類型 |
激光全息線性光柵尺 |
激光全息線性光柵尺 |
激光全息線性光柵尺 |
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反饋分辨率 |
0.008 nm |
0.008 nm |
0.008 nm |
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進給速度 (最大) |
2000mm/min |
2000mm/min |
2000mm/min |
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直線度 |
全行程0.3μm |
全行程0.3μm |
全行程0.5μm （ 中心100mm 0.3μm） |
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靜壓油裝置 |
緊湊，低流量，低壓力系統，配備封閉式循環伺服控制以及使氣泵脈動最小化的壓力積蓄裝置 | ||
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選配旋轉軸 |
B |
C（主軸選配） |
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類型 |
油靜壓軸承 |
空氣軸承溝槽補償(液體冷卻) |
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行程 |
360° (雙向) |
360° (雙向) |
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驅動系統 |
無刷直流電機 |
無刷直流電機 |
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軸向剛性 |
875 N/μm |
詳見上述主軸指標 |
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徑向剛性 (鼻端) |
260 N/μm |
詳見上述主軸指標 |
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定位精度 |
± 1.0 弧秒（經補償） |
± 1.0 弧秒（經補償） |
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反饋分辨率 |
0.005 弧秒 |
0.01 弧秒 |
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最大速度 (定位模式) |
50 rpm |
3,000 rpm |
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運動精度 |
軸向: ≤ 0.1μm 徑向: ≤ 0.1μm |
軸向: ≤ 12.5nm 徑向: ≤ 12.5nm |
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應用要求 |
Air 空氣 |
Electrical 電子 |
Floor Space 底面空間 |
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為優化車削結果，熱穩定性應被控制在±0.5°C (±1.0°F)以內 |
7 to 10 bar (100 – 145 psi) 280 liters/min (10 scfm) 過濾10 μm 以上微粒 干燥至 10°C 壓力露點 |
208 - 480 VAC; 50 / 60hz; 3 Phase (11kVA) |
1.8m 寬 x 1.8m 長 x 2m 高 重量約3,180 Kg(包括機床外殼和電柜，但不包括控制臺等外圍設備) |
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Warranty 保修 |
所有部件保修期為一年 |
